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SRX模块型高速控制器(过程/温度控制器)

  • SRX模块型高速控制器(过程/温度控制器)
SRX模块型高速控制器(过程/温度控制器)
  • 产品介绍


SRX模块型高速控制器[过程/温度控制器]实现了1秒40次的超高速反馈控制(采样周期:.025秒)。在半导体制造过程中的RTP操作 (Rapid Thermal Process:急速加热处理)和需高速升温的控制业中可发择其最大效用。具备模块式温度控器省空间、省配线的特点,可实现整个装置的小型化;另外,维护性能高也是其不容忽视的优点。

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